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江苏微导纳米装备科技有限公司

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光伏

微导高效晶硅太阳能电池制造的解决方案


在不断增加的高效率、低成本晶硅太阳能电池市场需求驱动下, 微导为单、多晶高效太阳能电池技术提供高性能ALD钝化生产解决方案。与传统的铝背场电池相比,微导光伏技术适用于多种高效晶硅太阳能电池生产线的新建、改造和升级, 可以将太阳能电池转换效率进一步提升1%以上。微导光伏产品为高效太阳能电池的制造提供完整的解决方案。微导为光伏电池生产提供技术先进、使用成本低的产业化系统。




夸父系列原子层沉积镀膜系统

微导的夸父系列工业批量型原子层沉积(ALD)系统采用自主研发的反应腔体设计和先进的薄膜沉积技术, 确保为晶硅太阳能电池表面钝化提供高质量超薄三氧化二铝钝化膜。微导高端夸父系列ALD系统为光伏产业化高效电池提供超高产能的同时, 可降低设备的运营成本,为客户提供可靠的量产解决方案。




工艺材料
工艺温度
薄膜厚度均匀度
产能
运行率
破片率
维护周期
技术参数
Al2O3
SiO2, 可选
150-300(
片内:≤1%
片与片:≤2%
批与批:≤2%
4000
(片/小时,10 nm)
≥96%
≤0.1%
>6月


客户化的解决方案




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